紫外线光源在高新技术领域的应用
下表例示了在高新领域主要的一些应用、相关波长以及通常使用的相关光源。|
应用
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主要相关波
长
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一般使用光源
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光清洗
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150-300nm
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石英低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管（excimer lamp）
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光蚀刻
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150-300nm
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低压石英水银灯、卤素激元体激光、超高压水银灯
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光灰化（感光膜剥离）
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150-300nm
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低压水银灯、光化学用水银灯、卤素激元体放电管、超高压水银灯
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光改质、改性
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150-300nm
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低压水银放电管、光化学用水银灯、卤素激元体放电管
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光刻、曝光
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0.1-480nm
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光化学用水银灯、超高压水银灯、卤素激元体放电管、卤素激元体激光（excimer laser）、X线源、电子束、毛细管型超高压水银灯、Deep UV线灯、氙灯
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光CVD
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150-400nm
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光化学用水银灯、低压石英放电管、卤素激元体放电管、卤素激元体激光、同步加速器放射光
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光触媒、光催化作用
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150-400nm
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低压石英水银灯、杀菌灯、紫外线荧光灯、高压水银灯
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光分解
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150-400nm
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低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯、卤素激元体放电管
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光氧化
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150-400nm
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低压石英水银灯、杀菌灯、高压水银灯
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光合成
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250-600nm
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石英水银灯、金卤灯
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光固化、硬化、干燥、胶合
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200-480nm
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光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、水银氙灯、紫外线荧光灯、无电极灯
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紫外线造型
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200-480nm
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高压汞灯、光化学用水银灯、金卤灯、氙灯、低压石英水银灯、光造型用Ar激光器
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杀菌
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200-320nm
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低压石英水银灯、杀菌灯、石英水银灯、冷阴极水银灯、无电极紫外线杀菌放电管
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基因导入技术
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200-300nm
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紫外线低压汞灯、冷阴极汞灯
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臭氧检测
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200-300nm
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冷阴极石英汞灯、低压石英水银灯
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光电子表面分析
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10-400nm
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氦辉光放电管、激光、同步加速器放射光
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元素分析
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100-400nm
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原子光谱灯、无极微波紫外光谱灯
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